Applikationen
Test des Plasmacleaners der Firma Binder
Dr. rer. nat. habil. Hans-Dietrich Bauer, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden
Um die Wirkungsweise des Plasmacleaners zu demonstrieren, wurde eine Reihe von Experimenten mit den Mikroskopen TecnaiF30 und CM20FEG angestellt. Die Mikroskope dienten dabei sowohl zur Erzeugung von Kohlenwasserstoff-Kontaminationsschichten als auch zu deren Beobachtung. … mehr
Plasmacleaning Demonstration
Herr Send, Universität Karlsruhe
Keramikpartikel auf Kohlenstofflochfolie. Kontaminationsstreifen, erzeugt in 20s Strahl nachgeführt. Gleiche Stelle, nach 90s im Plasmacleaner jetzt nicht mehr möglich sichtbare Kontamination zu erzeugen. Der … mehr
Erfahrungen bei der Querschnitts-präparation von … mittels FIB-Methode
Dr. rer. nat. habil. Hans-Dietrich Bauer und Birgit Arnold, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden
In der Transmissionselektronenmik-roskopie hat (TEM) hat die Probenpräpa-ration einen beträchtlichen Einfluß auf die Qualität der Aufnahmen und Ergebnisse. Die Eignung der Focused-Ion-Beam-Methode (FIB) als fast universelles Präparationsverfahren zur Zielpräparation und zur Beurteilung der Qualität von Schichtsystemen …
Vollständiger Artikel erhältlich beim Carl Hanser Verlag, München. Prakt. Metallogr. 40 (2003) 3.
Avoiding and Removing of undesired Surface Damages on FIB prepared Specimens
Dr. rer. nat. habil. Hans-Dietrich Bauer und Birgit Arnold, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden
For the FIB preparation of cross sections, usually a strip of the sample is fixed on a half-ring. Here, you see the interesting layer, to be investigated, on the substrate. With the 30 keV Ga ion beam … mehr
Now, in the following I deal with the „thinning damage“. (Again my 1st transparency) … mehr
Plasmacleaning an zwei Beispielen
Prof. Dr. J. Mayer und Dr. Th. Weirich, GEF Aachen
Das erste Beispiel ist eine elektrolytisch gedünnte Probe von einem austenitischen Stahl. Hier geht es besonders um die genaue Charakterisierung der Zusammensetzung. Wie Sie im Bild Aust_Stahl_vor_PC_BF erkennen können, gab es bei dieser Probe erhebliche Kontaminationsprobleme bei jeder EDX-Messung mit fokussiertem Strahl … mehr
Hydrophilization of TEM grids with a TPS 316 plasma cleaner
SCIENCE SERVICES GMBH AND BINDER LABORTECHNIK, MUNICH
17.11.2015 … mehr
Probe einer epitaxial gewachsenen Ge-Schicht
Dr. Eberhard Bugiel, Leibniz University of Hannover, Institute of Electronic Materials and Devices
Bei der Probe handelt es sich um eine epitaxial gewachsene Ge-Schicht von ca. 22 nm Dicke, die mittels MBE auf (001)Si gewachsen wurde. Die kristalline Perfektion stand hier im Fokus … mehr
