Plasmareinigung / Plasmacleaner

Sie können sich hier nachfolgende Dokumente unserer Plasmacleaner Familie herunterladen, die sich im jahrelangen Praxisbetrieb bereits hervorragend bewährt haben. Wenn Sie noch Fragen haben oder ein Angebot wünschen, dann rufen oder mailen Sie uns einfach an.

TPS_316 Plasmacleaner
TPS 316
Neues Produkt
Produktinformation

Product Information_Plasmacleaner_  english

TPS 216 EC Plasmacleaner
TPS 116
Produktinformation  (deutsch)

Product Information (english)

PLASMACLEANER FüR TEM AND SEM

PLASMAREINIGUNG FüR TEM UND SEM

TPS 316

 

Der  NF Plasmacleaner eignet sich besonders zum Reinigen von TEM und SEM Proben

Die Probenreinigung erfolgt nicht direkt in der Quelle sondern extern unterhalb des Plasmagenerators. Ungewollte Sputtereffekte und das Aufheizen der Probe werden so vermieden. Bei empfindlichen Proben kann der Probenhalter senkrecht zum Plasmafluss gekippt werden. Das ermöglicht eine noch schonendere Reinigung. Es ist somit sogar möglich Proben auf karbonbeschichteten TEM-Grids zu reinigen.

Das Grundgerät basiert auf einem Turbopumpstand modernster Bauart (Pfeiffer High Cube). Die einfache Bedienung erfolgt über einen Touchscreen auf dem übersichtlich alle relevanten Parameter angezeigt und gesteuert werden können. Der Plasmacleaner TPS 316 ist standardmäßig mit einem Hauptrezipienten zum Reinigen und einem Subrezipienten zum Aufbewahren und Trocknen der Probenhalter ausgestattet.

Ein optionaler SEM-Kit ermöglicht das Reinigen von massiveren Proben mit einem maximalen Durchmesser von 30mm und einer Höhe von bis zu 15mm.

Die Plasmaquelle arbeitet bei einer Frequenz von 30kHz, einer Spannung von 4kV und mit einer Leistung von etwa 10W. Die Quelle ist auf dem Hauptrezipienten mechanisch fixiert. Der Hauptrezipient hat einen Durchmesser von 42,5mm und ist 25,5mm tief.

 

 

The NF Plasma cleaner is especially suitable for cleaning TEM and SEM samples; it also has 2 sub recipients for storing sample holders under vacuum. A touch screen with menu navigation allows A simple operation of the device

The NF Plasmacleaner is particularly suitable for cleaning TEM and SEM samples Sample purification is not performed directly in the source, but externally below the plasma generator. Unintentional sputtering effects and heating up of the sample are thus avoided. For sensitive samples, the sample holder can be tilted perpendicular to the plasma flow. This allows even more gentle cleaning. It is thus even possible to clean samples on carbon-coated TEM grids.

The basic unit is based on a turbopump of the most modern design (Pfeiffer High Cube). The simple operation is carried out via a touch screen on which all relevant parameters can be displayed and controlled. The Plasmacleaner TPS 316 is equipped as standard with a main receiver for cleaning and a sub-receiver for storing and drying the sample holders. An optional SEM kit allows the cleaning of more massive samples with a maximum diameter of 30mm and a height of up to 15mm.