Applikationen / Applications

Test des Plasmacleaners der Firma Binder

Dr.rer.nat.habil.Hans-Dietrich Bauer, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden

Um die Wirkungsweise des Plasmacleaners zu demonstrieren, wurde eine Reihe von Experimenten mit den Mikroskopen TecnaiF30 und CM20FEG angestellt. Die Mikroskope dienten dabei sowohl zur Erzeugung von Kohlenwasserstoff-Kontaminations-schichten als auch zu deren Beobachtung. …mehr

Plasma Cleaning for Analytical TEM experiences

Dr.rer.nat.habil.Hans-Dietrich Bauer, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden

  • The trouble with specimen contamination is as old as the EM y itself.
  • The mechanism is, that … (for … see on top)
    molecules will be adsorbed and desorbed on surfaces,
    but linked …
  • Sources of hydrocarbons can …mehr

Plasmacleaning Demonstration

Herr Send, Universität Karlsruhe

Keramikpartikel auf Kohlenstofflochfolie. Kontaminationsstreifen, erzeugt in 20s Strahl nachgeführt.

 

Gleiche Stelle, nach 90s im Plasmacleaner jetzt nicht mehr möglich sichtbare Kontamination zu erzeugen. Der  …mehr

Erfahrungen bei der Querschnitts-präparation von … mittels FIB-Methode

Dr.rer.nat.habil.Hans-Dietrich Bauer und Birgit Arnold, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden

In der Transmissionselektronenmik-roskopie hat (TEM) hat die Probenpräpa-ration einen beträchtlichen Einfluß auf die Qualität der Aufnahmen und Ergebnisse. Die Eignung der Focused-Ion-Beam-Methode (FIB) als fast universelles Präparationsverfahren zur Zielpräparation und zur Beurteilung der Qualität von Schichtsystemen …

Vollständiger Artikel erhältlich beim Carl Hanser Verlag, München. Prakt. Metallogr. 40 (2003) 3.

Avoiding and Removing of undesired Surface Damages on FIB prepared Specimens

Dr.rer.nat.habil.Hans-Dietrich Bauer und Birgit Arnold, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden

For the FIB preparation of cross sections, usually a strip of the sample is fixed on a half-ring.

Here, you see the interesting layer, to be investigated, on the substrate.

With the 30 keV Ga ion beam  …mehr

Now, in the following I deal with the „thinning damage“. (Again my 1st transparency) …mehr

Demonstration Line Scan

Dr. Woisek und Herr Brabetz, Austrian Research Center Seibersdorf

Plasmacleaning an zwei Beispielen

Prof. Dr. J. Mayer und
Dr. Th. Weirich, GEF Aachen

Das erste Beispiel ist eine elektrolytisch gedünnte Probe von einem austenitischen Stahl. Hier geht es besonders um die genaue Charakterisierung der Zusammensetzung. Wie Sie im Bild Aust_Stahl_vor_PC_BF erkennen können, gab es bei dieser Probe erhebliche Kontaminationsprobleme bei jeder EDX-Messung mit fokussiertem Strahl.
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Dr. Eberhard Bugiel

Leibniz University of Hannover, Institute of Electronic Materials and Devices,

-Bei der Probe handelt es sich um eine epitaxial gewachsene Ge-Schicht von ca. 22 nm Dicke, die mittels MBE auf (001)Si gewachsen wurde. Die kristalline Perfektion stand hier im Fokus
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